Trung Quốc bắt đầu sản xuất máy quang khắc DUV nội địa

Theo trang tin The Information, Trung Quốc đã bắt đầu sản xuất máy quang khắc sử dụng tia cực tím sâu (DUV) do nước này tự phát triển. Đây là thiết bị then chốt trong sản xuất chất bán dẫn, lâu nay do tập đoàn ASML của Hà Lan thống lĩnh thị trường.

Động thái này được đánh giá có thể giúp các nhà sản xuất chip Trung Quốc giảm phụ thuộc vào nguồn cung nước ngoài trong bối cảnh Mỹ xem xét siết chặt hơn các biện pháp kiểm soát xuất khẩu công nghệ.

Các nguồn tin thân cận cho biết các máy quang khắc DUV đầu tiên dự kiến sẽ được bàn giao trong năm nay cho các nhà sản xuất chip hàng đầu của Trung Quốc, như Semiconductor Manufacturing International Corp (SMIC), Hua Hong Semiconductor và ChangXin Memory Technologies (CXMT). ASML đã từ chối bình luận về thông tin trên. Giá cổ phiếu của doanh nghiệp này đã giảm hơn 7% trong phiên giao dịch ngày 27/7, hướng tới mức giảm mạnh nhất kể từ ngày 8/6.

Thông tin trên cũng gây áp lực lên cổ phiếu của nhiều doanh nghiệp trong chuỗi cung ứng thiết bị sản xuất chip toàn cầu. Cổ phiếu BE Semiconductor Industries giảm khoảng 8,5%, cổ phiếu Soitec giảm 5%, còn cổ phiếu Infineon Technologies giảm gần 3%.

Theo The Information, nhà sản xuất máy quang khắc DUV nói trên là một doanh nghiệp được Chính phủ Trung Quốc hậu thuẫn, song danh tính không được tiết lộ. Các nhà quan sát nhận định bước tiến này về lâu dài có thể tạo ra sức ép cạnh tranh đối với ASML tại thị trường Trung Quốc. Tuy nhiên, hệ thống mới hiện vẫn thua kém về hiệu suất và độ tin cậy, đồng thời cần tiếp tục được thử nghiệm trước khi có thể sản xuất hàng loạt. Vì vậy, ASML vẫn duy trì lợi thế công nghệ trong thời gian trước mắt.

Sản lượng ban đầu sẽ còn hạn chế, với khoảng 5 máy DUV được sản xuất trong năm nay và khoảng 20 máy vào năm 2027. Máy quang khắc DUV được sử dụng để in các mạch điện lên tấm wafer silicon và hiện là công nghệ quang khắc tiên tiến nhất mà các doanh nghiệp Trung Quốc có thể tiếp cận, sau khi bị hạn chế tiếp cận các hệ thống quang khắc sử dụng tia cực tím bước sóng cực ngắn (EUV).

Hiện Trung Quốc đang phát triển máy quang khắc EUV trong nước, song công nghệ này hiện mới dừng ở giai đoạn chế tạo nguyên mẫu.

Nếu được hoàn thiện, công nghệ DUV nội địa có thể giúp các nhà sản xuất chip Trung Quốc có thêm nguồn cung thiết bị quan trọng trong bối cảnh Mỹ đang cân nhắc siết chặt hơn các quy định về xuất khẩu và bảo dưỡng thiết bị quang khắc nước ngoài tại Trung Quốc.